반도체확산원 / 직업사전

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반도체 직접회로 제조공정 중 확산장비(implanter)를 이용하여 웨이퍼에 전기적 특성을 부여하기 위해 웨이퍼(wafer)내로 불순물을 이온화상태로 주입한다.

확산통에 전류를 공급하여 일정 온도로 가열하도록 유지한다. 세척한 웨이퍼를 붕소·인 등의 불순물에 담근다. 불순물이 주입된 웨이퍼를 확산통에 일정 시간 넣어둔다. 일정 시간이 지난 후 확산통의 스위치를 정지한다. 측정기를 사용하여 오염정도를 측정한다.

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